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吉時利儀器:DC/RF半導體參數測試系統問世
SimulTest可對300mm晶片以200mm時間完成測試

【CTIMES/SmartAuto 楊青蓉報導】   2003年12月19日 星期五

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美商吉時利儀器(Keithley Instruments)推出其S600系列的最新產品S680 DC/RF半導體參數測試系統。吉時利儀器表示,全新的SimulTest平行測試軟體可以在一次探針接觸中對多達9個元件進行同步測量,這個軟體使得新系統可以原來200mm晶片的測試時間完成對300mm的晶片進行參數量測。為了使平行程式設計更加簡便,新的SMU讓數位通訊變得更快捷、更靈活,同時也提升處理能力。這些SMU不僅保持了以往的超低電流和高功率的性能,還具備了與S600系列測試系統一致的測量功能。

吉時利儀器指出,強化的AdapTest軟體可為晶片測試過程增加了智慧因素,使得S680 DC/RF系統可以根據測試結果自動即時改變測試計畫。當對適當的監控元件進行測試時,該系統獨特的RF測試功能使得它可以對不同的探針執行達40GHz的同步獨立DC和RF測試。該系統的300mm SECS/GEM自動化功能完全符合SEMI和GJG工廠標準。S680 DC/RF系統對軟體和硬體的加強同樣能夠以極具成本效益的方式對現有S600系列系統升級增強,這也使得該平臺在資本設備於多世代技術間的重複使用率繼續在業界保持優勢。

關鍵字: 美商吉時利儀器  測試系統與研發工具 
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