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安捷倫半導體元件分析儀可整合CV及IV量測能力
 

【CTIMES/SmartAuto 劉筱萍報導】   2005年04月29日 星期五

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安捷倫科技(Agilent Technologies)推出一套Windows架構的半導體元件分析儀,可將電容相對於電壓(CV)及電流相對於電壓(IV)等兩種量測能力整合到單一儀器中,不僅有助於節省半導體測試時間,同時還能提高生產力。Agilent B1500A是一套完整、齊備且可擴充的參數特性量測及分析解決方案,尤其能協助處理分析65奈米以下的微影(Lithography)製程技術。這部模組式的儀器提供了10個插槽配置組合,能支援安捷倫科技新的EasyEXPERT軟體,並採用符合直覺式的“由上往下”(Top Down)元件特性量測方法。

對開發半導體製程技術的工程師和科學家來說,量測半導體元件的特性是一項相當複雜的工作。Agilent B1500A採用Windows架構的圖形化使用者操作介面,讓不熟悉參數量測儀器的新手工程師也能快速上手。安捷倫科技自動化測試事業群副總裁暨日本半導體測試事業部總經理海老原稔(Minoru Ebihara)表示:「Agilent B1500A搭配EasyEXPERT軟體可讓每位使用者成為參數測試的專家。一般使用半導體測試儀器時,使用者必須瞭解儀器硬體的功能特性且必須進行重重的設定,才能實際執行量測,但B1500A卻能讓使用者立即上手展開量測工作,達到最高的投資報酬率。」

B1500A SCUU可提供既方便又簡單的方式,將兩個SMU和MFCMU連接在一起,而且不需另外使用外接式切換模組(Switching Matrix),即可在這些不同的量測資源間自由切換。B1500A的軟體可處理所有IV-CV切換、補償及回返路徑等問題,使用者只需選擇IV或CV演算法,然後按一個鍵,便可開始執行準確的量測。

關鍵字: 安捷倫(Agilent日本半導體測試事業部總經理  海老原稔  其他儀器設備 
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