在过去的30年间，MEMS开关被一致认为是性能有限的机电式继电器的优越取代品。透过易于使用、能够以损失最小的情况下，可靠的进行从0 Hz/dc至数百GHz路由的小型开关，因而彻底改变了电子系统实现的方法。

此性能上的优势会对大量设备类型与应用范围造成冲击。透过MEMS开关技术，让电子量测系统、国防系统应用以及健康照护设备得以在性能与外型上实现以往难以达成的水准。
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