村田針對工業設備開發數位三軸MEMS加速度感測器

隨著工業設備的數位化，自動檢測結構物和機械設備等異常或損傷、實現預測性維護的需求不斷成長。如橋樑、建築等結構物需要長期監測變化，能否透過感測器進行自動化偵測，準確捕捉結構物微小形變或變化的加速度感測器效能，將會影響整個監測系統的可靠性。

圖一 : 數位三軸MEMS加速度感測器SCA3400系列針對工業設備設計，配備可即時監控感測器狀態的自診斷功能。（source：村田）

株式會社村田製作所針對工業設備開發數位三軸MEMS加速度感測器SCA3400系列，透過自主研發的MEMS製程與新型電路設計，開發出既可偵測微小傾斜、偏移壽命漂移值控制在0.5mg以下，在長期使用下維持基準位置，能夠在偵測結構物的細微傾斜具有高精確度。

SCA3400系列具備高度耐久性，有助於提升橋樑、建築等結構健康監測等系統監測設備的可靠性，而具備出眾的抗振動和抗溫度變化能力，即使在惡劣環境下的工業設備中，也可以長期穩定使用。數位三軸MEMS加速度感測器SCA3400系列預計於2025年10月開始量產。
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