南韩化学气相沈积设备(PECVD)厂商周星工程(Jusung),在今年的上海平面显示器大展中,首度展出全球第一片完成镀膜的第八代玻璃基板,并脱离过去传统的枚叶式设计(Cluster),而改采InLine直线式的方式,以求提升生产效率。但其他设备同业对此则表示,此种设计的问题仍多,显示后续在八代厂的设备方面,仍将有许多制程设备上的基础问题待解决。
日本面板大厂夏普预计要在明年十月进入八代厂量产,不过许多设备商都仍指出,现阶段相关的设备都还在开发中,能否如期将设备完成装机,把握程度都不高。美商AKT指出,如以夏普的量产计划时程来看,相关的八代厂设备恐怕在今年底就要准备开始交机,目前仍在追赶进度,希望在圣诞节前可以完成相关的开发。
周星方面则指出,由于八代厂的设备体积过于庞大如果再采用过去的枚叶式设计,整个设备占地面积会过大,因此该公司采用新的设计概念,将CVD设备设计成直线式InLine设计,整个设备呈现长方形,分成上下两层,投片效率可望是传统式设计的二倍,但是重量仍将超过100公吨以上(一般传统设计的七代线CVD,重量大约80公吨)。
由于八代玻璃基板尺寸,长宽已经超过2公尺,因此运送过程特别困难,以周星在会场所展示的八代镀膜玻璃来说,可能是在展示搬运过程中有碰撞,因此大片玻璃中央亦出现一条裂纹,显示未来八代面板厂的量产之路,恐怕还是有相当长的一段路要走。