整體半導體產業在歷經2001、2002年度的調整之後，景氣已出現明顯回溫現象，日本半導體製造設備協會（SEAJ）根據此一狀況預測，半導體設備市場將在2003年因半導體業者更新製造設備而重見光明，其中將重啟投資計畫再出擊的日系廠商，更將成為半導體設備市場的主要成長力道。

SEAJ最新預測報告指出，在日系半導體廠商針對CCD影像感測器、快閃記憶體（Flash）等產品需求而擴大設備投資，以及全球半導體廠商相繼投入12吋晶圓廠建設的帶動下，2003年度日製半導體製造設備銷售額（含出口）將達9313億日圓，較2002年度成長8.3％，亦是近3年來首見正成長。

但SEAJ亦表示，在經過2004、2005年度的成長期後，2006年度開始半導體廠的設備投資將再轉趨保守，並開始步上另一波衰退期。此外在LCD製造設備方面，日系業者銷售額亦在南韓、台灣廠商大力擴增LCD電視用大尺寸LCD面板產能下，可望在2003年度出現15％的成長率，銷售額將達3274億日圓。2004、2005年度成長速度雖趨緩，但在2006年度將再度起飛。