據研究機構Information Network最新報告指出，半導體設備市場歷經兩年的低潮期已經開始逐漸復甦，因晶片業者紛紛在2003年增加資本支出，其中量測檢測（Metrology and Inspection；M&I）系統設備的營收，較去年成長11.5％，預計2003年可達到近28億美元的市場規模。

市場分析師Castellano指出，由於晶片製造邁進先進製程，更需要更新現有的檢測設備以克服先進製程所增加的困難，據估計，光是新型12吋晶圓廠的興建與設備過程，便佔去M&I銷售額的4成，若從量測檢測設備市場的成長幅度推知，亦不難瞭解目前全球半導體業界已斥資在資本設備的投入之中。

根據Information Network的報告指出，估計全球量測檢測設備市場將以12％的幅度成長，達到2005年時40億美元的市場規模；然就整體半導體設備市場成長而言，該機構則預估在2003年將成長7.3％，雖然其預估成長幅度較另一研究機構VLSI的5.6％來得樂觀，Castellano仍堅信景氣復甦已經開始。

然而，並非所有的半導體設備皆有如M&I市場的高成長率，在微影設備市場方面，Information Network分析師預估2003年僅有近6％的成長空間；一則由於光罩高成本的因素影響，再則也由於近來英特爾（Intel）宣佈將放棄157奈米微影技術。