半导体产业单晶圆湿式清洗解决方案的设备供货商SEZ Group宣布其已接获来自晶圆制造商订购超过12台Da Vinci平台的多机台订单。这些来自既有与新兴的先进晶圆代工厂商客户之订单,继先前韩国的订购之后,进一步提升了SEZ在亚太地区发展的潜能。
此外,由于有些客户致力于内存装置的制造,这些订单强调了Da Vinci平台在内存产业做为提升至单晶圆湿式制程的催化剂角色。虽说逻辑芯片制造商带动了这项转移,但内存厂商与晶圆代工厂也开始寻求单晶圆应用为其高阶制造运作带来成本与效能的利益。多年前SEZ将其核心能力移转至单晶圆技术时便已预见这项趋势,同时并拓展了其产品系列。不久前,SEZ发表了与内存厂商共同开发的Da Vinci平台双面制程模块DV-38DS,将原有DV-38系统内的八个标准反应室换成八个双面制程模块,让晶圆正面聚合物与背面有机物/粒子可同时被高效清除。
SEZ执行副总裁暨执行长Kurt Lackenbucher表示,「亚洲结合SEZ的Da Vinci系列。Da Vinci平台目前占了SEZ总营收的百分之六十以上,其中超过一半在日本与亚太地区装机。明显的,这两股力量快速推动了我们单晶圆技术的采用。我们十分期待SEZ在产品涵盖地区内持续的成功,希望即将推出的新平台可以像Da Vinci系列为晶圆后段制程带来的价值一样, 替前段制程带来同样的贡献。」