日本半導體製造設備協會（SEAJ）日前公佈最新統計數據顯示，3月日製半導體設備銷售額較去年同期衰退了35.7％，日系半導體設備商似乎仍未感受到景氣復甦的跡象。

據SEAJ統計，2003年3月日製半導體製造設備接單額為717.6億日圓，較2月增加13％，卻較2002年同期減少35.7％。接單額的衰退亦意謂著未來半年內，日本半導體設備商如TEL、Advantest、Nikon等，恐將再度面臨市場復甦減緩的局面。

以設備別來看，晶圓製程用處理設備接單額約為421.7億日圓，較去年同期減少46％。而測試設備接單額亦微幅縮減2.4％，達135.3億日圓。

銷售方面，3月日製半導體製造設備銷售額約為1476.3億日圓，年成長率約為41.3％，並已連續7個月成長。3個月移動平均（B／B值）為0.71，已連續2個月低於平均值1。