安森美半導體(ON Semiconductor)獲歐洲核子研究理事會(CERN)頒發產業獎,表彰安森美半導體為CERN供應用於ATLAS粒子物理實驗的複雜像素粒子傳感器(Pixel Particle Sensor)晶片。
CERN是世界上最大的粒子物理實驗室。ATLAS協作項目是CERN四個主要的粒子物理實驗之一。ATLAS實驗利用CERN的大型強子對撞機(LHC)來探索物質的基礎屬性和形成宇宙的基本力量。從2008年年中開始,ATLAS探測器將搜索每個質子能量達到極高的7萬億電子伏(TeV)情況下的質子正面碰撞的新發現。在物理科學領域,ATLAS是全世界前所未有的最大協作項目之一,共有來自37個國家超過166家大學和實驗室的1900名物理學家參加。
安森美半導體與捷克共和國科學院物理研究所密切合作,在矽晶圓兩面使用光刻開發出特殊技術,提供ATLAS設計用於矽片內部追蹤器的大面積像素粒子傳感器晶片。迄今為止,安森美半導體參與這項目一向獲捷克貿工部的補助金支持。
安森美半導體捷克共和國和斯洛伐克副總裁兼總經理Michael Mandracchia說:「在與捷克共和國科學院物理研究所的密切合作下,安森美半導體開發出了用於像素粒子傳感器的定制雙面技術,並在安森美半導體位於捷克共和國Rožnov pod Radhoštěm的製造廠生產出相關晶片。每一塊矽晶圓上通常同時製造著數百片、有時甚至多達千片的半導體晶片。在ATLAS像素傳感器晶片的項目中,我們在每塊晶圓上僅製造3個傳感器晶片,而晶圓的兩面都為有源結構。這些晶圓的厚度僅為標準生產晶圓厚度的一半。由於這工藝需要低的缺陷密度和仔細的晶圓處理,故需求非常的高。」