文／愛美科；編譯／丘燕

源/汲極接觸電阻：先進矽CMOS的技術瓶頸

源極/汲極是電晶體的接觸電極，用來引入與移除載子（carriers）於電晶體的傳導通道。傳統的CMOS技術，利用金屬導體（MS）接觸特性，在金屬側具有過渡金屬矽化物（例如鎳矽化物），得以形成源極/汲極的接觸電子。另一種普遍方式，是利用自對準矽化物製程，稱為SALICIDE，讓矽化物覆蓋在整個源/汲極表面。
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