對於晶圓量測來說，高頻測試一般都是達到110GHz的頻率。我們可以看到以往用於晶圓測試的設備，主要的模組限制都是在這個頻率上。

一般來說，晶圓測試都是在晶圓上透過自動化探針台自動去尋找晶圓上的目標，自動點擊以進行量測，因此對探針與探針台的要求非常高，這也是晶圓製造商最在意的效能。

高頻晶圓測試
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