環氧模壓樹脂(Epoxy Molding Compounds, EMC)是IC封裝製程中常用的熱固性封膠材料,在封膠充填過程中會隨著溫度升高而產生交聯反應(cross-linking);當交聯反應進行至某個階段,膠體將達到熟化,賦予產品更佳的機械性質及穩定性。然而當IC元件充填完成時,往往膠體尚未完全熟化(fully cure),因此一般常利用後熟化(post-mold cure)製程來促使膠體完全熟化。加溫烘烤是常見的後熟化方式之一,在使膠體完全熟化後再將其降溫。過程中由於EMC的體積會因為交聯反應而產生收縮現象,加上各元件之間的熱膨脹係數不同,會產生相對應的位移變形;若變形量過大,將可能導致該封裝元件內部微結構崩壞而失效。
針對上述情形,Moldex3D後熟化分析功能可提供完整的分析能量,讓使用者事先預測潛在的變形問題。Moldex3D可考慮在常壓下,針對後熟化製程從進烤箱至冷卻到常溫的過程中,進行不同溫度和熟化度的耦合計算,模擬IC元件最終的翹曲量值變化。接下來以雙層板試驗模型(圖1)的模擬案例作說明。
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