根據國內媒體報導，經濟部積極推動目前在全球半導體製程設備市場排名第二的日本東京電子，與國內業者合作投資設備系統大廠，此案不但已獲東京電子正面回應，國內也有多家業者表達參與意願，預估初期投資額將達三十億元以上。

台灣半導體及TFT-LCD製程設備市場，每年約有一千多億元至三、四千億元的採購商機，佔全球市場的20％；近年來，經濟部亟欲掌握並發展國內投資生產半導體及TFT-LCD製程設備，近期更計畫聯合業界投資籌組系統設備大廠，以吸引國外廠商來台參與投資。

目前在台灣製程設備市場佔第一位的廠商為美商應用材料公司，占有率約四成，而排名第二的東京電子約二成八，兩家業者均在國內銷售半導體及TFT-LCD製程設備並從事售後服務，但皆尚未在國內投資生產。

經濟部原本有意爭取應材在國內投資生產或技術移轉，經濟部高層也曾多次拜會應材美國總公司，但迄今應材尚未回應、該公司技術移轉的情況也不明顯，無助國內發展製程設備產業，經濟部因而決定轉向爭取東京電子來台投資生產，除了已獲回應之外，未來雙方也有機會共同投入研發合作。

經濟部指出，外商與國內業者合作在台生產，可解決設備運輸不易的問題，運輸方便及降低運費，又可就近服務國內半導體及TFT廠，也可達到設備國產化目標。

經濟部指出，推動國外大廠來台建立研發、製造、維修及物流據點，將促使我國成為亞太地區供應中心，除供應國內相關業者，也可銷往中國大陸市場，不必擔心未來半導體廠外移問題。