随着先进制程持续推进至3奈米甚至2奈米世代，极紫外光刻（EUV）设备已成为晶圆制造不可或缺的核心技术。近期台湾业者??亿鑫正式跨入EUV设备安装工程领域，并同步建置导入AI与自动化技术的工程制造中心，象徵台湾供应链正由传统厂务支援，进一步迈入先进制程的关键环节。

台湾业者??亿鑫正式跨入EUV设备安装工程领域

EUV系统以ASML所开发的设备为代表，其运作环境对工程条件要求极为严苛。首先，在气体系统方面，需确保超高纯度等级，以避免微量杂质影响曝光品质；其次，EUV设备需运行於高度稳定的真空环境，以维持光源与光学路径的精准性；此外，整体管路系统亦必须达到极高洁净标准，任何微粒污染都可能导致制程缺陷，影响晶片良率。

因此，能够叁与EUV设备安装，不仅代表具备高阶厂务整合能力，更意味着工程技术已对标先进制程等级。这类工程涉及气体供应、真空系统建置、精密管线配置与洁净室整合等多领域技术，且需在极短时间内完成高精度施工与验证，技术门槛远高於传统半导体厂务工程。

值得注意的是，此次导入AI与自动化的工程制造中心，进一步提升施工与维运效率。透过数据分析与智慧监控，可即时掌握设备运行状态与环境叁数，并优化施工流程与品质控管，降低人为误差风险。这也反映出半导体厂务正从劳力密集转向数据驱动的智慧工程模式。