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微电子研发成果发表会奈米实验室发表多项成果
 

【CTIMES / SMARTAUTO ABC_1 报导】    2002年12月11日 星期三

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昨日交通大学与国家奈米元件实验室共同举办「微电子科技研发成果发表会」,希望借此使研究成果经由适当的推广,能促进产学业界共同创造未来互利互惠的契机。

奈米实验室表示,举办该活动的主要目的,是希望透过对外公开发表研究结果,加强与业界的合作机会。发表的最新研究成果,包括:平面微波积体电路之H面转换器、电浆处理之阻障层之制造方法、一种自我对准方式之复晶矽间隙壁闸极制造单电子电晶体的方法、铜化学机械研磨后清洗方法及先进光罩抗反射结构等。

奈米实验室是行政院国科会所属六大国家实验室之一,成立的宗旨包括:(一)培训国内半导体专业人才;(二)协助国内学术界进行半导体材料、制程、与元件之研究;(三)研发前瞻奈米元件技术。该实验室的成立,是为了提供国内学术界适当的研究环境,期能结合全国微电子领域的学者专家,一起研发先进的半导体制程技术。

關鍵字: 微電子  电浆  微波  銅化學機械研磨  光罩  交通大学  國家奈米元件實驗室 
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