專利權爭端不斷，根據日本日經社報導指出，日本微影設備供應商Nikon再度控告荷蘭微影設備供應商ASML，控告ASML侵犯Nikon於日本、南韓的多項專利權，包括ASML的步進照像機（Stepper）及掃描機（Scanner），因此要求ASML停止於日本、南韓的侵權行為，並且必需賠償Nikon損失。

自去年始，全球市佔率名列一、二的Nikon與ASML便不斷進行互告的行動，以行動維護自身的權益。去年12月，ASML要求法院禁止Nikon停止侵權行為，包括製造和銷售涉及侵害其專利的平版印刷投映系統；今年8月ASML又向日本法院，指控Nikon涉嫌侵犯ASML的9700萬歐元專利權。ASML和Nikon的專利紛爭，至今仍於美國國際貿易委員會（ITC）及北加州聯邦法院審理當中。

此次爭端中的步進機，是晶圓廠製程中極重要的關鍵設備，據粗略估計，以一座月產能約2萬5000片的8吋廠來說，需要25～30台的步進機，佔設備成本18％，而主要供應商即為Nikon、Canon。