設備向來是半導體製造商花錢最多的地方,而且半導體設備製造技術一直壟斷在外商手中。不過最近設備代理大廠漢民科技打破外商壟斷局面,將自製離子植入機送進茂德中科十二吋廠,消息震動竹科各家設備大廠。
日前茂德在中部科學園區的十二吋廠晶圓廠決定,未來在擴散製程中,將採用漢民轉投資公司漢辰科技製造的iStar離子植入機;由於離子植入機向來由美商應用材料(AMAT)、瓦利安(Varian)、亞舍立(Axcelis)三大外商所盤據,因此漢辰這次突破外商防線,進駐茂德廠,設備商方面備感威脅。
由於每台離子植入機造價超過上億元,而每座晶圓廠至少需要八到十台,業界認為這次漢辰進帳飽飽,特別是代理商品利潤不如自製機器高,業界認為若行銷情形順利,對公司盈餘貢獻度將提高許多。
漢民與茂德雙方皆不願透露第一階段進駐台數,避免產能資料曝光,但是業界人士認為,由於茂德中科廠產能設備尚在擴充之中,因此第一階段可能只有五台以下植入機先進廠,未來一年內才會慢慢補足到接近十台。
漢辰科技是漢民轉投資的設備製造公司,儘管漢民已經是台灣最大的幾家半導體設備商之一,代理的日本TEL等品牌市佔率極高,但是設備代理商一直存在品牌獨立出走的威脅,因此積極研發設備製造技術。