隨著先進製程持續推進至3奈米甚至2奈米世代，極紫外光刻（EUV）設備已成為晶圓製造不可或缺的核心技術。近期台灣業者騏億鑫正式跨入EUV設備安裝工程領域，並同步建置導入AI與自動化技術的工程製造中心，象徵台灣供應鏈正由傳統廠務支援，進一步邁入先進製程的關鍵環節。

台灣業者騏億鑫正式跨入EUV設備安裝工程領域

EUV系統以ASML所開發的設備為代表，其運作環境對工程條件要求極為嚴苛。首先，在氣體系統方面，需確保超高純度等級，以避免微量雜質影響曝光品質；其次，EUV設備需運行於高度穩定的真空環境，以維持光源與光學路徑的精準性；此外，整體管路系統亦必須達到極高潔淨標準，任何微粒污染都可能導致製程缺陷，影響晶片良率。

因此，能夠參與EUV設備安裝，不僅代表具備高階廠務整合能力，更意味著工程技術已對標先進製程等級。這類工程涉及氣體供應、真空系統建置、精密管線配置與潔淨室整合等多領域技術，且需在極短時間內完成高精度施工與驗證，技術門檻遠高於傳統半導體廠務工程。

值得注意的是，此次導入AI與自動化的工程製造中心，進一步提升施工與維運效率。透過數據分析與智慧監控，可即時掌握設備運行狀態與環境參數，並優化施工流程與品質控管，降低人為誤差風險。這也反映出半導體廠務正從勞力密集轉向數據驅動的智慧工程模式。