工商時報消息，因各大半導體業者積極興建12吋晶圓廠，相關設備搶手，設備業者甚至推出預付四成訂金保證優先交機權的條件，首開風氣之先的是12吋晶圓顯影設備（photolithography）最大業者ASML。

該報導指出，目前顯影設備的訂單至交貨時間（lead time）約為12個月，由於ASML的12吋設備售價至少超過1000萬美元，高階機種則將近3000萬美元，而四成訂金約在600萬美元，對於手中現金不夠充裕的晶圓廠而言負擔不小。

但包括台積電、聯電等大客戶，由於手中現金充裕，且ASML收取訂金後保證優先（priority）出貨，且在總價上小幅度折讓，據悉台積電與聯電皆已向ASML繳付訂金。目前12吋晶圓製造的顯影設備，基本格為光源波長248奈米，單價在1200萬美元以上，進階機種規格則為光源波長193奈米，價格接近3000萬美元。