據Digitimes消息,在日前由Semico主辦、電子時報與FSA協辦的「90奈米及深次微米」研討會(90nm and Beyond)中,半導體市調機構Semico Research總裁Jim Feldhan預估,0.13微米以下先進晶圓製程產出將在2007年達到40%;而為搶攻先進製程商機,台積電、聯電與IBM微電子等大廠皆積極發展相關技術與服務。
IBM微電子則認為,傳統矽晶圓(bulk silicon)在先進製程下,將無法突破高處理時脈漏電瓶頸,因此65奈米等主流製程將成為絕緣層上覆矽技術(Silicon-on-Insulator;SOI)與英特爾(Intel)等主導的應變矽(Strained Silicon)技術競逐局面。IBM科技事業群副總裁Bernie Mereyson指出,CMOS製程將面臨淘汰局面,SOI可以提供強力集積度(power density)晶片,同時克服矽晶圓漏電問題,將成為下一代製程主流材料。
台積電全球行銷副總胡正大則指出,晶圓代工廠在低電介質(low-k)、8吋廠轉12吋廠等先進製程學習曲線穩定後,2004年90奈米CMOS製程正處於加溫階段,預估2005年才會逐漸成為全球半導體的主流製程。胡正大表示,高成本是導致設計公司客戶提升製程意願低落的主因,台積電已透過晶圓共承制(Multi-Project Wafer;MPW)以降低客戶開發90奈米製程的光罩、晶圓成本。
聯電執行長胡國強亦表示,2004年90奈米仍是少數客戶採用的製程,而該公司採取積極強化90奈米以下單晶片整合矽智財(IP)的建立;胡國強表示,無線通訊與數位娛樂是驅動新一代矽晶圓半導體的主要動力,聯電與IC設計客戶以Multiple IDM模式,積極建構因應新一代半導體技術所需的IP資料庫,以面對單晶片世代。