據日本半導體製造設備協會（SEAJ）的統計資料，日製半導體製造設備接單額，自2002年3月即開始出現大幅成長，近三個月來的成長率更在兩倍以上；但若以此趨勢來判斷半導體設備業景氣已經回復，恐怕仍是言之過早。

據SEAJ公佈的2002年11月日製半導體製造設備接單統計，金額為556.9億日圓，年成長率達127.5％，而2002年10月亦成長106.6％。而在日製半導體銷售額方面，則是由2001年4月以來連續17個月的衰退，在2002年9月轉為正成長，並達到1130億日圓，但接下來的10月、11月雖然亦較2001年同期成長，但仍不及9月銷售額的二分之一。

2002上半年度半導體製造設備廠商財報數字表現皆不佳。主要是在2002上半年度半導體廠商抑制設備投資，設備商即使是努力改善經營體質，仍無法改變銷售不佳的事實。而最主要的半導體製造設備接單／銷售額雖然較市況最差的2001年增加，但仍說不上是景氣回升的跡象。

抱持樂觀看法的設備需求者認為，前往中國大陸投資設廠的家電、通訊外商企業大幅增加，加上大陸本土電機企業的興起吸引半導體廠商前往，將會使大陸地區設備接單額爆增，然在台灣IT產業逐漸空洞化、美國經濟依舊疲弱的陰影之下，未來整體的半導體製造設備市況仍不明朗。