根據中央社報導,國內DRAM業者力晶在工研院能資所的協助下,斥資新台幣 2.5億元完成12吋晶圓廠節約用水計畫,成為半導體業界第一家廢水回收率超過85%的晶圓廠,並獲經濟部水利署頒發之「92年度節約用水績優單位」獎。
力晶表示,由於12吋晶圓製程技術的創新及複雜程度相對提高,工業用水的減量、回收、再利用及再生等議題重要性也日益顯著,因此該公司與工研院能資所合作發展相關技術,投資新台幣 2.5億元建置一系列節約用水設備。
該報導指出,力晶之環保用水計畫的內容涵蓋12吋晶圓製程用水、廢水回收處理設備,制定製程選別回收分類管理系統,以及全廠皆使用回收水等,啟用後成效良好;力晶表示,該公司從8吋到12 吋晶圓製造,雖然每片晶圓面積增加125%,用水量卻只增加10%。
而由於力晶節水計畫績效卓著,經濟部水利署特別遴選力晶為「92年度節約用水績優單位」;力晶也表示將持續此一節水計畫,並協助推廣此項環保觀念。