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应用材料发表新款Producer SE制程设备
强调提高300mm化学气相沉积生产力

【CTIMES/SmartAuto 黃明珠报导】   2001年07月20日 星期五

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应用材料公司宣布推出全新的Producer SE系统。以成功的单晶圆Producer平台设计为基础,Producer SE可支持最多种类的介电材料化学气相沉积应用,为业界生产力最高,也是最先进且最富弹性的化学气相沉积设备。

新推出的Producer SE产出率可比原先的Producer增加多达45%效率,端视系统之配备与薄膜应用而定。此外,全新的承载器(loadlock)预热设计则能将300mm晶圆加热至稳定程度,再送至制程反应室,减少晶圆在反应室内所需的加热时间;另针对薄膜制程应用,Producer SE每小时可处理130片晶圆,厚膜制程则每小时为100片晶圆。

Producer SE还提供一套低流量的远距清洗(Remote Clean)系统,可减少约40%的三氟化氮(NF3)气体使用量。应用材料公司的远距清洗技术,亦可减少造成全球温室效应的全氟碳化物(PFC)之气体排放,因此荣获美国环境保护署表扬,认定是维持全球气候稳定的示范性产品。

此外,Producer SE提供可选购的整合检视与量测工具,让300mm晶圆厂的制程控制自动化,能维持一贯的高产出率。 Producer SE的工厂界面模组,具有一套整合微粒监控器,提供高速微粒的侦测功能,减少高价测试晶圆的使用数量。运用另一套整合量测单元,客户即可在极高产出率下进行制程处理,同时在晶圆进入或是离开设备时,密切监控薄膜沉积的厚度、均匀度以及折射率。透过检视与量测技术的结合,设备可提供最长的使用时间及最大的使用率,让客户减少维修次数,享有更长的设备使用年限。

關鍵字: 应用材料  半导体制造与测试 
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