美商吉時利儀器公司（Keithley Instruments）近日推出首款纜線解決方案（cabling solution），利用一組申請專利中的纜線即可處理I-V、C-V或是脈衝I-V訊號。這款最新的纜線套件能夠加速並簡化從任何先進半導體參數分析儀連結到Cascade Microtech或SUSS MicroTec探針台進行直流電流-電壓（I-V）、電容-電壓（C-V）和脈衝I-V測試的過程。這些配線的設計與吉時利4200-SCS半導體特性分析系統以及其他用於特性分析的測試儀器相容。

新款高性能三軸纜線套件

新款高性能三軸纜線套件（triaxial cable kit）的設計適用於那些需要在不同量測類型之間頻繁切換的特性分析應用。這款新的纜線套件無需使用者重新佈線，也能夠消除由於佈線誤差導致的測量誤差。新款的纜線套件有兩種版本現正供應中─一種適用於Cascade Microtech探針台；而另外一種適用於SUSS MicroTec探針台。

對半導體元件進行電子特性分析，掌握製程中的步驟，需要進行各種量測，包括直流I-V、C-V和脈衝I-V量測。將這些不同類型的量測整合在一個特性分析系統中最大的挑戰是─每種量測都有完全不同的佈線需求。例如，進行低電流I-V量測需要用三軸線以達到夾層中能有防護（guarding）信號的功能。C-V量測通常採用四條同軸纜線並將外殼連接在一起，以控制訊號遇到的特性阻抗（characteristic impedance）。脈衝量測所需的頻寬在三種量測類型中為最高，因此佈線的特性阻抗必須與源阻抗（source impedance）相搭配，以防止受測元件的訊號反射至電源處。

吉時利的新款纜線套件在設計時考慮了這些不同的需求。無論用戶進行任何類型的量測，都不需要更動探針控制臺的佈線；藉由輕易地將纜線從一組儀器連結至到另一組，使得I-V量測、C-V量測和脈衝I-V測試之間的轉換更加容易，從而簡化了元件特性分析的過程。此外，在探針接觸晶圓的時候即可修改測試設定，從而減少了探針接觸區域（pad）損壞的可能，並對三種量測類型保持相同的接點阻抗值（contact impedance）。