台南科學園區因振動問題嚇跑多家晶圓廠後，已使得各家晶圓廠轉移焦點，積極爭取進住國防部釋出位於新竹科學園區第三期高達38公頃的篤行營區用地。

包括旺宏、華邦、聯電、茂矽、茂德等晶圓廠，積極與新竹科學園區管理局接洽，但新竹科學園區內部鑒於這塊土地只要二家晶圓廠進駐及所剩無幾，內部不少人認為排除晶圓廠進駐，將這塊土地切割成小面積以便讓更多的廠商進駐，但晶圓廠動用民代關說，使新竹科學園區管理局面臨沉重壓力。

國防部位於新竹篤行營區，因位於新竹科學園區第三期土地，土地區塊相當完整，而新竹科學園區廠近年來因不斷有廠商爭著要進駐建廠，土地趨飽和，新竹科學園區管理局不得不轉向竹南或銅鑼另闢空間，滿足廠商需求。