台积电自今年初开始，在十二吋厂投片数即已超过五千片，目前月投片量已经在八千至一万片的水平，预计年底投片量将达一万二千片。虽然台积电副总执行长曾繁城对前往经济部递件的传言全盘否认，但台积电内部仍有消息指出，的确在这几日就将递件至经济部，若政府相关单位审查过程顺利，公司方面的规画是在八、九月间政府审查通过之后，再进一步确认与大陆方面的地点洽谈。

三月底行政院在制定八吋晶圆厂赴大陆投资的资格时，即设定半导体公司的十二吋厂需建厂完成，且达成进入基本量产连续达六个月以上，才能提出申请。当时经济部长林义夫曾特别针对「基本量产」提出解释，为工厂制程技术通过产品客户验证并接到客户订单，且正常出货时间连续达六个月。在三月底那场记者会中，林义夫亦表示，台积电已接近量产，未来还需观察是否有其它厂商接单情况。

至于经济部一旦核准台积电赴大陆投资后，台积电会搬动哪一座厂的旧设备，曾繁城也未明说，只简单说「就是旧的设备」。但业界普遍认为，根据台积电现有八吋晶圆设备中，最有可能移至大陆者可能是原为德碁半导体的晶圆七厂。