台积电12吋厂首批晶圆产出良率已超越8吋厂，将使12吋厂扩厂速度加速。台积电总经理曾繁城26日表示，台积电有把握，12吋厂开始量产的一年后，经济效益即可超过八吋晶圆厂，三年后，该公司12吋厂产能将超越8吋的总产能。若依此估算，台积电2003年的营收，至少将再翻一番，有机会超过新台币三千三百亿元，突破一百亿美元，跻身全球前三大半导体公司。

台积电表示，晶圆厂由8吋移转至12吋厂，要克服的最大障碍就是生产设备的稳定性与良率。理论上八吋移转至12吋，晶圆边缘所产出的微尘单位颗粒数将会减少，且晶圆面积增加2.25倍之后，边余可利用的面积提高，再加上机械设备的精密度增加，使产品的良率有机会拉高。台积电利用0.18微米已产制成功的产品，移至12吋厂生产，实际验证的结果显示，台积电12吋厂良率已确定高于8吋厂。