Tektronix（太克科技）推出Keithley S540功率半导体测试系统，这是为高达3kV的功率半导体装置和结构提供的全自动48针脚参数测试系统。完全整合的S540是专为与最新复合功率半导体材料（包括碳化矽（SiC） 和氮化镓（GaN）） 搭配使用而进行最佳化处理，可在一次探头接入中执行所有高压、低压和电容等测试。

专为最新的功率半导体装置所提供的全自动高速晶圆级参数测试解决方案，包括高达3 kV的SiC和GaN。

随着对功率半导体装置的需求不断提高，同时，SiC和GaN也日益商业化，制造商正在生产制程中采用晶圆级测试，以有效提升良率并改善盈利能力。针对这些应用，S540显著地缩短了测试时间和测试设定时间，并减少了占用空间，同时实现了实验室级高电压量测效能，进而降低了拥有成本。

Tektronix的Keithley产品系列总经理Mike Flaherty表示：「许多晶圆厂正使用自订的混合测试系统来执行功率半导体测试，在从低电压测试转向高电压测试时，需手动变更测试设定。正如您所预期，这会增加制程步骤并拖慢生产速度。相较之下，S540是一款完全整合的解决方案，特别适合必须迅速测试各种装置的生产环境。」

为提供生产级效能，S540可在高达48针脚上执行参数量测，而不需更换电缆或探棒卡设施，还可执行高达3kV的电晶体电容量测，如Ciss、Coss和Crss，而无需手动重新配置测试针脚。 S540还提供了pA级量测效能，可在不到1秒内执行全自动高压泄漏电流测试，进一步提升了测试产出量。

S540为标准商业化产品，提供了可完整追踪的系统规格、安全相容性、诊断功能，以及全球性服务和支援，而这些都视内部开发或自订的系统常无法提供的功能。 S540秉承了Keithley 30余年的半导体参数经验，完美整合了半导体测试仪器与高低电压切换矩阵、连接缆线、探棒卡转接器、探测器驱动程式和测试软体。