雖然許多感測元件都是基於矽，但有些功能只能透過機械元件來執行，而且最近這些機械元件已經小型化，以滿足當下汽車應用需求。使用高階的微製造技術，可以將電子零元件、感測器和高度小型化的機械元件添加到普通矽基板中。這些微機電系統（MEMS）為高度自動化的車輛開闢了許多新感測機會，同時能夠提供高可靠性，減少佔用空間並節省成本。

市場上有許多不同類型的MEMS感測器，它們通常分為四個主要類別：
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