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EV GROUP將革命性薄膜轉移技術投入量產
 

【CTIMES/SmartAuto 王岫晨 報導】   2023年12月12日 星期二

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EV Group(EVG)宣布推出EVG 850 NanoCleave薄膜剝離系統,這是首款採用EVG革命性NanoCleave技術的產品平台。EVG850 NanoCleave系統使用紅外線(IR)雷射搭配特殊的無機物材質,在透過實際驗證且可供量產(HVM)的平台上,以奈米精度讓已完成鍵合、沉積或增長的薄膜從矽載具基板釋放。

EVG 850 NanoCleave薄膜剝離系統內部圖。(來源:EV Group)
EVG 850 NanoCleave薄膜剝離系統內部圖。(來源:EV Group)

因此,EVG850 NanoCleave無需使用玻璃載具,可為先進封裝達成超薄的小晶片堆疊,並為先進邏輯、記憶體與功率元件的製作等前端處理達成超薄的3D薄膜堆疊,以支援未來3D異質整合的產品發展藍圖。

  第一台EVG850 NanoCleave系統已安裝於客戶的廠房內,另外在客戶的站點與EVG總部也將向客戶與合作夥伴們展示近24個產品。

關鍵字: 晶圓製造  先進製程  EV Group  EVG 
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