在台湾与大陆地区蔓延的SARS疫情，已经对大陆地区新建晶圆厂造成一定程度的影响，包括长江三角洲一带正准备量产的8吋厂苏州和舰和上海宏力，因其技术团队和后勤支援厂商多为台湾业者，虽装机作业已完成大半，但后勤支援仍会受到人员出差限制而所影响。

据工商时报报导，大陆新兴晶圆代工业者上海宏力与苏州和舰的新建晶圆厂，装机时程并未受到SARS影响而有太大延误，大陆半导体业者指出，苏州和舰目前无尘室已完工、大部份设备亦皆已移入，一切建厂计画都按原定时程。至于技术团队部份，已知有六十余位自联电离职的工程师以上职级人员已经就位。但尽管如此，因支援的台湾后勤人员出差大陆受到限制，仍会对晶圆厂服务有所影响

该报导指出，和舰及宏力后勤支援厂商的台湾人员，原本经常往访海峡两岸，但五月份的出差活动几乎已全数因SARS而停顿，虽少数设备商已为台湾长驻员工办理居留证，且持台胞证入境大陆的三个月许可原本就可以再加签三个月，短期内台湾支援上海及苏州晶圆厂的人力还足够，但若疫情持续，对客户的整体服务还是有相当程度影响。

此外业界原本预料，中芯在北京经济开发区正兴建中的北京环球半导体12吋厂，肯定受到当地的SARS而延误建厂工程，但经相关业者前往该公司工地了解，建筑工人及重型设备依然照常活动，显示工程进度似乎不受影响。