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台積電32奈米新製程可支援類比與數位電路
 

【CTIMES/SmartAuto 王岫晨 報導】   2007年12月13日 星期四

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台積電成功試產可同時支援類比與數位電路的32奈米製程技術。據了解,台積電已於美國華盛頓特區所舉行的國際電子元件大會(IEDM)中發表論文,並宣佈成功開發可同時支援類比及數位電路的32奈米製程技術,此外,台積電並成功以193nm浸潤式微影雙重曝影技術,成功試產32奈米的2Mb靜態隨機存取記憶體。在此同時,IBM也宣佈已經成功開發32奈米製程,並預計於2009年下半年量產。

台積電指出,32奈米新製程將提供更低耗電量及更高密度的記憶體競爭優勢,而多種元件尺寸也可滿足客戶在產品性能及效率最佳化方面的考量。台積電的低耗電新製程具備待機低耗電電晶體、類比及射頻功能、銅導線以及低介電係數的材料導線等優勢,非常適合用於生產可攜式產品所需的SoC晶片,另外台積電也針對客戶的不同應用需求,提供多種32奈米製程,包括數位、類比、射頻及高密度記憶體製程等。

目前荷蘭艾司摩爾(ASML)、日本Nikon及Canon等微影設備大廠,已將EUV列為193nm之後的主流技術,並停止157nm技術及設備研發工作,但因EUV設備價格偏高,因此介於193nm及EUV二製程世代之間的32奈米製程,也只能由193nm的浸潤式製程著手進行研發。

關鍵字: 32nm  EUV  IEDM  台積電(TSMCASML  Nikon  佳能(Canon製程材料類 
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