Advanced Energy 一直致力于开发各种先进的高精度电源转换、测量和控制系统等解决方案，这方面的技术更一直领先全球。该公司推出一款型号为 GEMINI 5540A 的射频功率测量仪。这款全新的功率测量仪内建一组高度灵活、方便易用而又高度整合的测量电路，可支援高度精确的线上射频功率测量功能，而且适用于必须配备高精度射频功率控制功能的方案，例如半导体、通讯系统、工业制品和医疗设备等产品。Advanced Energy 持续研发半导体产品射频功率解决方案，今后该公司会继续努力研发全新的技术，以改善电浆电源功率控制功能，以及提升先进蚀刻和沉积制程的效能。

GEMINI 5540A 是一款将感测器和测量仪表合二为一的仪器，不但容易使用，而且还可在 0.2 至 200MHz 之间的频率范围以及 3 至 5,000W 的功率范围内执行测量功能，其 2-sigma 准确度达正负0.5% + 0.5W。这是一款高度整合的测量仪器，用户只需采用一个测量仪表，便可取代多种不同的测量仪器，最适用于需要准确测量和控制其射频功率的设备。

Advanced Energy 关键感测和控制产品副总裁 Gerry Blumenstock 表示：「技术要求极为严格的半导体制程，例如高深宽比(HAR)电浆蚀刻、高精度控制和射频系统的腔室匹配等制程，其效能直接受所采用的技术影响。OEM厂商只要采用 Advanced Energy 这项全新的 GEMINI 5540A 测量技术，便可准确校正系统以及即时监测其射频功率，提高先进电浆制程的传真度和一致性。」

GEMINI 5540A 射频功率测量仪配备一个较大而又易于阅读的OLED数位显示器，可同时显示正向和反向功率、电压驻波比(VSWR)和频率，而且无需为正向和反向功率测量重新配置，也可自动感测频率。这款测量仪可将校正次数减少至每12个月一次。相较之下，传统的测量仪器则需要每6个月校正一次。这款射频功率测量仪以5V输入电压、500mA输入电流进行作业，但要透过标准的USB 2.0 埠连接外置电池或交流电源插座，利用交流电时则要采用已有现货供应的USB配接器。

这款测量仪除了可直接用来测量之外，也可连接电脑，以便与 Advanced Energy 的 GEMINI Tools 资料视觉化软体搭配一起，执行资料搜集、储存和审核功能。