意法半導體(ST)於日前宣佈,新推出一款MEMS壓力感測器,將可掌握不論是在地下750公尺的深處到聖母峰頂端。任何可攜式裝置將可確定所在位置的海拔高度變化。
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ST新MEMS壓力感測器可探測海拔高度變化 |
ST表示,新産品LPS001WP採用創新的感測技術,能夠精確地測量壓力和海拔高度。該産品採用輕巧、薄型封裝,特別適用於智慧型手機、運動型手錶、各種不同的可攜式裝置、氣象站,以及汽車和工業應用。
該款產品的首要目標應用之一是進階型的可攜式GPS定位裝置,傳統的GPS定位功能只能確定裝置的2D位置。在整合LPS001WP壓力感測器後,同一款裝置將能提供精確的3D定位功能;舉例來說,當整合壓力感測器的GPS導航手機發送緊急求助呼叫時,消防人員、醫療救護人員或警察人員將能根據接收到的呼叫訊號確定事故發生的具體所在位置和樓層。
LPS001WP的壓力檢測量程從300毫巴(millibar)到1100毫巴,相當於從-750公尺到+9000公尺海拔高度之間的氣壓,可檢測到最小0.065毫巴的氣壓變化,相當於80公分的海拔高度。
LPS001WP內的壓力感測器是透過覆蓋在氣腔上的柔性矽薄膜檢測壓力變化(其中氣隙是可控制的,壓力也已經定義)。與傳統的矽微加工薄膜相比,新産品的薄膜非常小,內建的微機械止動結構(mechanical stopper)可防止氣壓破壞薄膜。這個薄膜包括電阻值隨著外部壓力變化而改變的微型壓電電阻器。壓力感測器監控矽薄膜電阻的變化,採用溫度補償方法修正變化偏差,把檢測到變化訊息轉換成二位數位值,透過工業標準I2C或SPI通訊介面將數據傳送至設備主處理器。