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應用材料發表新款Producer SE製程設備
強調提高300mm化學氣相沉積生產力

【CTIMES/SmartAuto 黃明珠報導】   2001年07月20日 星期五

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應用材料公司宣佈推出全新的Producer SE系統。以成功的單晶圓Producer平台設計為基礎,Producer SE可支援最多種類的介電材料化學氣相沉積應用,為業界生產力最高,也是最先進且最富彈性的化學氣相沉積設備。

新推出的Producer SE產出率可比原先的Producer增加多達45%效率,端視系統之配備與薄膜應用而定。此外,全新的承載器(loadlock)預熱設計則能將300mm晶圓加熱至穩定程度,再送至製程反應室,減少晶圓在反應室內所需的加熱時間;另針對薄膜製程應用,Producer SE每小時可處理130片晶圓,厚膜製程則每小時為100片晶圓。

Producer SE還提供一套低流量的遠距清洗(Remote Clean)系統,可減少約40%的三氟化氮(NF3)氣體使用量。應用材料公司的遠距清洗技術,亦可減少造成全球溫室效應的全氟碳化物(PFC)之氣體排放,因此榮獲美國環境保護署表揚,認定是維持全球氣候穩定的示範性產品。

此外,Producer SE提供可選購的整合檢視與量測工具,讓300mm晶圓廠的製程控制自動化,能維持一貫的高產出率。Producer SE的工廠界面模組,具有一套整合微粒監控器,提供高速微粒的偵測功能,減少高價測試晶圓的使用數量。運用另一套整合量測單元,客戶即可在極高產出率下進行製程處理,同時在晶圓進入或是離開設備時,密切監控薄膜沉積的厚度、均勻度以及折射率。透過檢視與量測技術的結合,設備可提供最長的使用時間及最大的使用率,讓客戶減少維修次數,享有更長的設備使用年限。

關鍵字: 應用材料  半導體製造與測試 
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