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半導體新蝕刻技術問世
兼具環保、省成本、小體積等特色

【CTIMES/SmartAuto 陳瑩欣報導】   2002年06月21日 星期五

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自然期刊(Nature)20日報導,現在的製程使用光線或腐蝕性化學藥劑,在矽晶圓上蝕刻。全新的製程技術,則使用石英模具在熔化的矽上印刻。普林斯頓大學電子工程教授史帝芬‧周 (Stephen Y. Chou)說:「我們製程技術的優點,是能夠把體積縮小十分之一。」如果未來研究證實這種製程技術確實可行,將為半導體產業帶來創新。

史帝芬‧周的研究團隊已製造出140奈米的電路,並在報告中說明10奈米製程的相關細節。現行的蝕刻技術,最小製程為30 奈米到70奈米。使用傳統蝕刻技術製造單一晶片需時20分鐘,使用史帝芬‧周的新技術,只需四百萬分之一秒。

新製程的發展基礎是機械印刷。首先把電路刻在石英模具上,然後將石英模具放在矽晶圓上,再用雷射光熔化矽,就能將電路印在矽晶圓上。

史丹福大學電子工程教授皮斯(R. Fabian Pease)表示,1960年代半導體產業也曾嘗試類似的製程技術,但因持續出現瑕疵而放棄。他說:「但是這幾十年來,良率控製已有很大的進步。」史帝芬‧周將這項技術稱為雷射輔助直接印刷技術(LADI)。

關鍵字: 蝕刻技術 
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