台灣大學奈米機電系統研究中心主要提供微機電設備平台,讓產業界與學術界可藉由這些微機電設備,進行相關的研究計畫。目前該中心有許多產學合作的科專計畫正在進行中,這些計畫都是透過中心的微機電設備平台來研發,例如無線技術以及生物醫學(Bio-Medical)晶片等技術與元件。而在研發的過程中,該中心也和產業界有積極的合作,許多技術就是透過這樣的計畫移轉給產業界之廠商,並生產相關的產品。
目前中心對於產、學界應用的需求大多能夠滿足,設備也主要著重於微機電系統。目前除了微米製程之外,也積極引進奈米機電設備,以便在短期的未來擴充奈米領域的研發能量。
目前以台灣北、中、南三區的奈米機電系統研究中心來比較,在設備上之差異性並不大,而北區的台灣大學奈米機電系統研究中心由於營運管理制度較為健全,因此吸引為數更多的使用者。北區研究中心對於所有的使用者都一視同仁,採取完全透明開放的管理規則,沒有使用上的障礙存在,因此更受到許多產學界人士的喜愛,而使用者也對中心的管理制度十分肯定。
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