NI 國家儀器於近日推出 NI PXIe-4135 電源量測單元 (SMU) 提供10 fA的量測靈敏度與高達 200 V 的電壓輸出。透過 NI PXI SMU 的靈活彈性、高通道數密度、測試輸出率，工程師可使用 NI PXIe-4135 SMU 量測低電流訊號，並執行晶圓參數測試、材料研究、低電流感測器與 IC 的特性測試等多種應用。

NI PXIe-4135 SMU 可量測低電流訊號，並執行晶圓參數測試、材料研究、低電流感測器與 IC 的特性測試等多種應用。

「我們的行內參數測試必須擷取數百萬個資料點，過程中常會產生數微微安培的洩漏電流，」IMEC 研究員 Bart De Wachter 博士如此表示：「新款 NI PXI SMU可準確量測這些低電流訊號，並同時享有 PXI 平台的快速除錯與 LabVIEW 提供的系統設計彈性。」

工程師可透過模組化 NI PXI SMU 打造體積精巧、平行的多通道數系統，並享有多達 68 個 SMU 通道的單一 PXI 機箱，能夠針對數百個通道執行晶圓穩定性測試與平行測試。此外，使用者可善用高速通訊匯流排、精確的硬體序列與數位控制迴路技術，藉此提高測試輸出率並客制微調任何待測裝置的 SMU 響應。使用者也可以運用軟體控制 SMU 響應，不僅可縮短 SMU 趨穩作業漫長的等待時間，還能藉由軟體的彈性減少過衝與震盪，即使是高電容負載也一樣。

「半導體裝置越來越複雜，我們必須重新思考傳統的研究方法、特性測試與穩定度量測，這也正是我們投資 SMU PXI 的主要原因。」NI 自動化測試總監 Luke Schreier 如此表示：「NI SMU不僅可降低測試時間、增加通道密度，現在還能提供 10 fA 靈敏度、更優良的量測品質。」

NI PXI SMU使用互動式軟體人機介面執行基本量測並為自動化應用除錯，其操作的簡易程度是箱型 SMU 無法達成的。此驅動程式提供輔助檔案、文件與立即可用的範例程式，藉以協助測試程式碼的開發，另外還提供程式設計介面，可搭配 C、Microsoft .NET 與 LabVIEW系統設計軟體等多種開發環境。工程師也可使用NI PXI SMU搭配NI TestStand測試管理軟體，藉此簡化測試系統在實驗室與生產線上的建置與佈署。（編輯部陳復霞整理）