晶圓測試都是在晶圓上透過自動化探針台自動去尋找晶圓上的目標，自動點擊以進行量測，因此除了高頻率的VNA之外，對探針與探針台的要求也非常高。晶圓測試大廠安立知（Anritsu）推出了新款VNA，可以一路從70KHz掃頻到200GHz，克服傳統操作必須分頻段架設儀器來滿足測量200G特性的問題。而安立知的模組將測試頻率延伸到220GHz，穩定度也能比傳統校正後維持更長的時間，這對於晶圓測試將更有幫助。

安立知推出220GHz向量網路分析儀

Anritsu安立知業務暨技術支援部專案副理程昭團指出，VectorStar ME7838G 寬頻向量網絡分析儀(VNA)，是業界首款能夠在單次掃描實現70 kHz至220 GHz量測的VNA。其頻率覆蓋範圍，能讓工程師在更廣泛的頻率範圍內更精準及有效地分析設備特性，進而提供準確的設備模型，實現精準模擬優化，縮短設計時間。

VectorStar VNA系統整合了 Anritsu 安立知非線性傳輸線 (NLTL) 毫米波 (mmWave) 模組，可實現業界最廣的單次掃描寬頻覆蓋以改進設備模組。220GHz 探針可直接連接毫米波模組，實現精準、穩定的晶圓上量測，進一步避免了同軸連接器在次兆赫頻率下的限制。

支援 220GHz 的 ME7838G 具備安立知的VectorStar寬頻平台能力，超越單次掃描的傳統界限，無需將晶圓探針台從 110 GHz 改造為更高的波導頻段。藉由此一先進設計，工程師可在同一片晶圓上測量各種電路，無需從同軸微波 VNA 轉移至同軸毫米波 VNA 或波導毫米波 VNA。同時，由於無需進行波導連接，該系統可減少晶圓的量測時間，提高寬頻設備的量測精度，並可減少 VNA 重新配置的次數以提升晶圓探針台的成本效益。

ME7838G 滿足了在高頻毫米波進行晶圓上量測的市場需求，實現更精確的分析設備特性。基於 VectorStar 的寬頻系統可從近 DC 至遠超出工作頻率的設備進行準確的特性分析，使工程師對其設計的系統更有信心，進而實現更精確的模組。

而在安立知推出測試頻率達到220GHz的VNA儀器之後，高頻測試的關鍵將回到探針與探針台身上。也就是高頻網路分析儀與探針台搭配時，必須能夠維持穩定度與更有效的校正方法。而更新一代的高頻網路分析儀，也勢必將衝擊晶圓廠，使其晶圓製程隨之更為精進。