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英特爾下世代電晶體微縮技術突破 鎖定應用於未來製程節點
 

【CTIMES/SmartAuto 王岫晨 報導】   2023年12月12日 星期二

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英特爾公開多項技術突破,為公司未來的製程藍圖保留了創新發展,凸顯摩爾定律的延續和進化。在今年 IEEE 國際電子元件會議(IEDM)上,英特爾研究人員展示了結合晶片背部供電和直接背部接觸的3D堆疊 CMOS(互補金屬氧化物半導體)電晶體的最新進展,同時分享了最新晶片背部供電(例如背部接觸)的研發突破,並在同一片300mm(12吋)晶圓、而非在封裝上成功展示整合矽電晶體與氮化鎵(GaN)電晶體的大規模3D單晶。

英特爾展示下世代電晶體微縮技術突破,將應用於未來製程節點
英特爾展示下世代電晶體微縮技術突破,將應用於未來製程節點

全球對於運算的需求呈現指數型增長,電晶體微縮和晶片背部供電是有助於滿足此運算需求的兩大關鍵。英特爾滿足了這樣的運算需求,其創新將繼續推動半導體產業的發展,亦是摩爾定律的基石。英特爾的元件研究團隊不斷突破工程限制,透過堆疊電晶體,將晶片背部供電推升到新境界,以實現更多的電晶體微縮和性能改善,同時也證明由不同材料製成的電晶體可以整合在同一晶圓上。

最近發布的製程技術藍圖,強調了英特爾在持續微縮方面的創新,包括PowerVia晶片背部供電技術、用於先進封裝的玻璃基板和Foveros Direct封裝技術,這些技術皆源於英特爾元件研究團隊,預計將在2030年前投入生產。

在 IEDM 2023大會上,英特爾的元件研究團隊展現對創新的堅持,開拓全新方式,在矽晶片上置入更多電晶體,實現更高性能。研究人員已確立如何透過有效堆疊電晶體、持續達成微縮的關鍵研發領域,再結合晶片背部供電和背部接觸技術,推動電晶體架構技術發展。除了改善晶片背部供電和採用新型二維電子通道材料(2D channel materials),英特爾也將致力延續摩爾定律,在2030年達成單一封裝內含1兆個電晶體。

關鍵字: 晶圓製造  先進製程  Intel(英代爾, 英特爾
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