外電消息報導,東芝宣佈,將與NEC共同開發使用45奈米製程的CMOS平台技術。該平台將生產以低功耗為目標的SoC,以滿足未來的行動應用需求。該平台預計在2009年第二季時進行大規模量產。
據報導,透過閃光燈退火(flash lamp anneal)技術,減少離子注入的雜質,並使用含鉿絕緣體和DFM技術,東芝已開發出新平台技術的啟動序列。而雙重閃光燈退火製程,更提高了PMOS和NMOS的性能。加上在注入過程中,給鍺摻雜氮離子以減少溝道區的雜質濃度,有助於提高電晶體的性能。
東芝表示,使用新技術的45奈米製程晶片功耗,將只有65奈米晶片的一半。而東芝預計在2008財年的第四季進行樣品生產,並在2009財年第二季進行大規模生產 。