NI 国家仪器于近日推出 NI PXIe-4135 电源量测单元 (SMU) 提供10 fA的量测灵敏度与高达 200 V 的电压输出。透过NI PXI SMU 的灵活弹性、高通道数密度、测试输出率，工程师可使用NI PXIe-4135 SMU 量测低电流讯号，并执行晶圆参数测试、材料研究、低电流感测器与IC 的特性测试等多种应用。

NI PXIe-4135 SMU 可量测低电流讯号，并执行晶圆参数测试、材料研究、低电流感测器与 IC 的特性测试等多种应用。

「我们的行内参数测试必须撷取数百万个资料点，过程中常会产生数微微安培的泄漏电流，」IMEC 研究员Bart De Wachter 博士如此表示：「新款NI PXI SMU可准确量测这些低电流讯号，并同时享有PXI 平台的快速除错与LabVIEW 提供的系统设计弹性。」

工程师可透过模组化 NI PXI SMU 打造体积精巧、平行的多通道数系统，并享有多达 68 个 SMU 通道的单一 PXI 机箱，能够针对数百个通道执行晶圆稳定性测试与平行测试。此外，使用者可善用高速通讯汇流排、精确的硬体序列与数位控制回路技术，借此提高测试输出率并客制微调任何待测装置的 SMU 响应。使用者也可以运用软体控制 SMU 响应，不仅可缩短 SMU 趋稳作业漫长的等待时间，还能藉由软体的弹性减少过冲与震荡，即使是高电容负载也一样。

「半导体装置越来越复杂，我们必须重新思考传统的研究方法、特性测试与稳定度量测，这也正是我们投资SMU PXI 的主要原因。」NI 自动化测试总监Luke Schreier 如此表示：「NI SMU不仅可降低测试时间、增加通道密度，现在还能提供10 fA 灵敏度、更优良的量测品质。」

NI PXI SMU使用互动式软体人机介面执行基本量测并为自动化应用除错，其操作的简易程度是箱型 SMU 无法达成的。此驱动程式提供辅助档案、文件与立即可用的范例程式，借以协助测试程式码的开发，另外还提供程式设计介面，可搭配 C、Microsoft .NET 与 LabVIEW系统设计软体等多种开发环境。工程师也可使用NI PXI SMU搭配NI TestStand测试管理软体，借此简化测试系统在实验室与生产线上的建置与布署。 （编辑部陈复霞整理）