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Cymer推出XLA 100高效能光源XL系列 (2002.09.24)
半導體製造準分子雷射光源供應商-Cymer，日前宣佈推出XLA 100 - 最新高效能光源XL系列的第一套產品，此家族將支援三個深紫外光波長的先進微影應用。XLA 100氬氟光源採用Cymer創新的MOPA（Master Oscillator Power Amplifier）雙氣體共振腔技術，不但是業界功率最高、頻寬最窄的雷射光源，還能大幅提高193 nm微影應用的產出 |
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