全球气候异常，暖化现象促使各国开始制定各式环保规范，包括与生产制造相关的欧盟三大环保指令，严格规定进出口的电子产品生产过程必须符合环保规范。为了让台湾产品打入国际市场，科技大厂将环保标准纳入产品制程，促进环保制程产业链的形成。

台湾半导体、面板、太阳能、LED和MEMS产业大厂近日加入由SEMI(国际半导体设备材料产业协会)所筹组的「高科技绿色制程委员会」，以SEMI环境卫生安全(EHS)产业标准为基础，具有Reduce(减量)、Recycle(循环)、Reuse(再利用)的3R作业模式，以确保各类产品符合国际环保规范。参与厂商包括台积电、联电、旺宏、友达、晶元与相关设备材料商Air Liquide、Applied Materials、ATMI、Brooks Automation、DAS、Praxair、ULVAC等，以及SAHTECH财团法人安全卫生技术中心。

厂商对SEMI整合产业供应链以帮助业者落实绿色采购抱持支持的态度。台积电风管工安环保处副处长许芳铭指出，绿色制造是台湾科技制造业对抗中国低价制造威胁的竞争优势，而绿色生产包括排碳减量和节能多寡，这些都要回归制程备设计，从头改良。SAHTECH安卫中心董事长于树伟则表示，SEMI的S23是生产制造相关的国际产业技术标准，业者和设备材料商可从中找可共同发挥的机会，发展跨产业技术标准。晶元目前就是以SEMI的S23产业技术标准为基准，要求相关设备必须符合节能标准，晶元光电处长林木荣表示，碳盘查(Carbon Inventory)将是晶元光电供应链管理的重点项目。

制造商与设备材料商藉由这次的结盟，彼此分享各自的需求。友达光电经理林立伟表示，希望SEMI提供的平台上可以制定环保制作的相关标准与蓝图，业者也可共同提出需求给设备材料商参考。面对制造商的需求，设备与材料供货商表示会纳入考虑，并希望透过SEMI平台明确了解客户的需求与标准，提供相关产品。