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瑞薩研發最新低成本製造技術提升電晶體效能
 

【CTIMES/SmartAuto 劉筱萍報導】   2007年06月21日 星期四

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瑞薩科技宣佈開發適用於45 nm(奈米)及後續製程世代微處理器及SoC(系統單晶片)之低成本且可達成極高效能電晶體之製造技術。此新技術利用瑞薩科技獨家開發且於2006年12月發表之混合架構,提升CMIS電晶體之效能。瑞薩科技將於2007年6月12日在日本京都舉行之「2007年VLSI技術研討會」會場中發表這項最新的混合架構並展示測試資料。

這項新的半導體製造技術與先前技術類似,同樣擁有內含鈦氮化物(TiN)金屬閘門的p-type電晶體,以及內含傳統polysilicon閘門的n-type電晶體。但是新款p-type電晶體使用兩層閘門架構取代單層閘門,可更有效地控制門檻電壓。此外,這項新的混合架構採用張力矽晶(strained-silicon)生產技術以大幅提升電流驅動能力。相較於原有的瑞薩混合架構,這項創新可提升約20%的效能。更重要的是這項新架構能以低成本方式生產,因為它無須大幅變更目前世代的製程。

目前已經生產出內含40-nm閘門長度之電晶體的實驗用晶片。針對此晶片執行的測試資料顯示已達到世界最高等級的驅動效能。在供應電壓1.2 V時,n-type電晶體為1,068 µA/µm,p-type電晶體為555 µA/µm。

關鍵字: 微處理器  SoC  電晶體  瑞薩科技  微處理器  系統單晶片  電晶體 
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