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是德科技發表WaferPro Express 2015量測軟體平台
 

【CTIMES/SmartAuto 編輯部報導】   2015年05月06日 星期三

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是德科技(Keysight)日前發表WaferPro Express 2015量測軟體平台,以協助工程師實現自動化晶圓級元件和電路元件特性分析。WaferPro Express可在晶片級量測系統(包含儀器和晶圓探測器)中,有效地控制所有元件,以便降低量測配置的複雜性,並提供結合自動量測和資料管理的統一平台。

新軟體支援晶圓級元件特性分析,並具備可簡化自動晶圓級量測的多項突破性技術。
新軟體支援晶圓級元件特性分析,並具備可簡化自動晶圓級量測的多項突破性技術。

高容量的晶圓級測試系統已不再是半導體晶圓代工廠的專利。今天,許多研發團隊都需要在各種不同溫度下量測大量的資料,以便因應元件建模、流程監控,可靠性和元件特性分析等應用的要求。而自動化晶圓探測器已成了元件研發量測實驗室的標準配備。

WaferPro Express 2015的一項重大突破是,它與Cascade Microtech的Velox 2.0探針台控制軟體進行了獨家整合。透過Cascade Microtech與是德科技聯合開發的雙向通訊鏈路的WaferSync,WaferPro Express和Velox 2.0可整合在一起。Cascade Microtech的WaferSync支援完整的晶圓圖(wafer map)同步功能,以提供簡單,無誤差的軟體資訊交換,包括晶圓對準、位置和晶粒資訊。

新的WaferPro Express可連接到Velox 2.0,大幅提昇了易用性,讓測試工程師能快速設定量測系統。為了全面提高射頻量測效率,WaferPro Express可定期監視射頻校驗的穩定性,以便盡可能縮短收集不準確資料的時間。

台灣是德科技總經理張志銘表示:「WaferPro Express 2015是我們與Cascade Microtech攜手合作的產物,象徵著是德科技晶圓級測試解決方案發展的一個重要里程碑。我們的目標是為客戶提供有保障的系統配置、安裝和支援。WaferPro Express是此晶圓級量測解決方案的核心軟體,可連接所有系統元件,讓客戶能夠靈活迅速地開始第一次量測。」

適用於直流/射頻量測的典型晶圓級量測解決方案(WMS)配置包含Keysight PNA或PNA-X網路分析儀、整合了Cascade Microtech晶圓探針台的B1500A半導體元件參數分析儀、WinCal XE校驗軟體,以及用於校驗的阻抗標準基板。WMS配置均經過預先驗證和最佳化,以提供準確且可重複的裝置與元件特性分析。利用新的Keysight Verification Substrate(KVS),工程師可快速驗證初始安裝完畢的系統。每一套KVS已全面通過晶圓廠評估,並配備標準裝置,讓工程師能夠在完成射頻校驗後使用G-S-G探棒來進行探量。WaferPro Express 2015可在初始系統驗證過程中量測KVS,然後,藉由比較量測資料和晶圓廠資料,來確認系統是否正常運作。

WaferPro Express 2015其它的新功能包括:支援雜訊係數量測,並可匯入使用Keysight IC-CAP建模和量測軟體開發的測試程序。新的雜訊係數量測功能進一步完善了該軟體現有的增益壓縮、雙音頻交互調變失真,以及和S參數量測。Keysight PNA-X最新的儀器驅動程式提供前述各項功能。

關鍵字: 量測軟體平台  WaferPro Express  量測系統  量測儀器  晶圓探測器  晶圓代工  是德科技  Keysight  安捷倫(Agilent半導體製造與測試  測試系統與研發工具 
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