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均豪與工研院共同研發原子力顯微鏡 (2003.03.21)
針對奈米產業之精密量測需求,均豪精密公司與工研院量測中心合作開發國內第一座商業用原子力顯微鏡,擁有量測奈米級的解析度,於日前完成,預計今年第二季出貨,可應用於半導體、光電及生技等領域


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