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Nikon再告ASML　专利权战争不断 (2002.10.15)
专利权争端不断，根据日本日经社报导指出，日本微影设备供应商Nikon再度控告荷兰微影设备供应商ASML，控告ASML侵犯Nikon于日本、南韩的多项专利权，包括ASML的步进照像机（Stepper）及扫描机（Scanner），因此要求ASML停止于日本、南韩的侵权行为，并且必需赔偿Nikon损失


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