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ATMI在台磊晶圆服务中心将成立 (2001.01.10)
全球最大磊晶圆供货商先进科材(ATMI) 9日宣布，将于三个月内在台湾成立磊晶圆服务中心（EPI Center），针对台湾晶圆厂客户于中心将装置三部磊晶反应器（reactor），未来因市场需求将逐步扩增到增至10部磊晶反应器的规模


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